位置決め・アライメント / FPD・PV

ガラスのエッジ検出

外径測定器LMGシリーズの透明体モードを使用して、ガラス基板の位置合わせを行っています。ミクロン単位でエッジ位置を測定し、高精度な位置決めを行います。