位置決め・アライメント / FPD・PV

太陽電池基板の搬送停止位置測定

太陽電池基板の搬送停止位置測定

シリコン基板の停止位置（X方向）をLSで測定することにより受取装置側に正しい位置情報を転送できるので、工程間の受け渡し時のシリコン基板の割れを防止します。

使用製品

形状測定センサ LSシリーズ

詳しくはこちら