マスクの移載たわみ測定

マスク移載する工程で高価なマスクを傷つけないよう、マスクまでの距離を測定し吸着ロボットを制御します。
C-MOSレーザ変位センサCD33なら正反射型もラインナップしているので透明マスクでも高精度に測定可能。マスクを傷めることなく移載することが可能です。