マスク高さ制御とガラス基板厚み測定

正反射型の変位センサCD33-L30で、マスクの高さを制御するとともにガラスの厚みを測定します。
マスクまでの距離を測定し最適な高さに調整し、その後ガラス基板がその上を通過するときに厚みを測定します。透明度の高いガラス基板なら変位センサ2台で挟み込んで測定しなくても0.7mm以上の厚みを測定可能です。またUQ1を使用すればセンサを複数台使用する場合の演算設定も、専用設定ソフトウェア「UQ1 Navigator」により誰でもかんたんに短時間で設定することが可能です。