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反り・歪み・たるみ・蛇行検出 / 電子部品
反り・歪み・たるみ・蛇行検出
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変位センサ
基材シート反り計測
多層基板の基材シートを積層する際のたわみ量を計測し、最適なテンションでチャックするように制御します。
レーザ変位センサCD5-85なら繰返精度1μmで計測可能。四隅をチャックした際の、たわみ量を正確に制御することが可能です。
使用製品
高性能マルチレーザ変位センサ
CD5シリーズ
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