露光ヘッドZ軸制御

正反射型のレーザ変位センサCD33-L30で露光ヘッドのZ軸アライメントを行います。
CD33は小型・軽量設計なので可動する露光ヘッドに取り付けても負荷が小さく、ヘッドの動きを妨げないアライメントが可能です。また変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。ラダーやPLCの知識がなくても、専用ソフトにより変位センサの設定を短時間で行うことが可能です。