反り・歪み・たるみ・蛇行検出 / 電機

ビューポート越しの基板検出

ビューポート越しの基板検出

レーザ変位センサCD33でチャンバ内の基板の反りを測定します。
ビューポート越しの測定となるので長距離測定が条件となりますが、CD33なら最大で400mmまでの測定が可能。長距離でも安定して測定することが可能です。

使用製品

C-MOSレーザ変位センサ CD33シリーズ

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