テスト機依頼

ファイバユニット
NFシリーズ耐屈曲（R4mm,R2mm）タイプ

【耐屈曲（R4mm,R2mm）】タイプ

可動部に取り付けても折れにくい、高い耐屈曲性

耐屈曲回数80万回を達成
ガラス基板アライメントに敵した限定反射型も用意

耐屈曲反射型ファイバユニットNF-DR08
生産終了のご案内

本製品は、人体保護用の検出装置としては使用しないでください

取り付け

ボス付きファイバの取り付け

NF-DC08

•M2サラビス（別途ご用意ください）を使用してください。また、底面のボスを挿入する穴はφ1.7mm、深さ0.8mm以上としてください。

NF-TE01

NF-DE01

(フラットONタイプ)>

取り付け部にタップを切る場合

付属ビス・ナットを使用する場合

(注1）：

上図はNF-TE01です。NF-DE01も同じ取り付け方法です。

(注2）：

透過型ファイバは、同一形状です。取り付ける際は、取付ビス用の穴とボス用の穴の位置にご注意ください。

NF-TE02

NF-DE02

(ヘッドONタイプ)>

取り付け部にタップを切る場合

付属ビス・ナットを使用する場合

(注1）：

上図はNF-TE02です。NF-DE02も同じ取り付け方法です。

(注2）：

透過型ファイバは、同一形状です。取り付ける際は、取付ビス用の穴とボス用の穴の位置にご注意ください。

NF-TE03

NF-DE03

(フラットONタイプ)>

(注1）：

上図はNF-TE03です。NF-DE03も同じ取り付け方法です。

(注2）：

透過型ファイバは、同一形状です。取り付ける際は、取付ビス用の穴とボス用の穴の位置にご注意ください。

NF-TE04

NF-DE04

(ヘッドONタイプ)>

(注1）：

上図はNF-TE04です。NF-DE04も同じ取り付け方法です。

(注2）：

透過型ファイバは、同一形状です。取り付ける際は、取付ビス用の穴とボス用の穴の位置にご注意ください。

NF-DR09/-RR01の取り付け

<付属取付金具を使用しない場合>

•セットビス（くぼみ先M3以下）にて、ヘッド部金具先端から15mm以内で取り付けてください。

<付属取付金具を使用する場合>

•セットビスを使用しなくても、ヘッド部を固定できます。
•セットビスを使用する場合は、くぼみ先M3のセットビスにて固定してください。

透過型スクリーンファイバ(NF-TZ07/-TZ08/-TZ09/-TZ10)の取り付け

•本製品の開口角は非常に狭く、設置の状態によっては入光しない場合がありますので、ご注意ください。
設置の際には、下図のように基準面を決め、光軸のズレや傾きに十分注意して、投・受光ファイバが平行になるように設置してください。

NF-RB02の取り付け

•開口角が非常に狭くなっていますので、設置状態により入光しない場合があります。
•下図のようにファイバヘッドと反射ミラーの中心が合うように設置してください。光軸のズレや傾きにご注意ください。

<サイドONタイプ/

NF-RB02

ファイバ取付金具（付属）で取り付ける場合
•サイドONタイプのファイバにファイバ取付金具を取り付ける場合、検出部にかからないように取り付けてください。
•ファイバ取付金具は、M3セットビスを使用しないでファイバを固定することができます。

M3セットビス（くぼみ先）で取り付ける場合
•下図の取り付け範囲内にM3セットビスで固定してください。

NF-RB02

の注意事項>

•透明体などの検出物体を検出する場合は、検出面から0～20mmの範囲は、検出が不安定になる可能性があります。

耐真空ファイバ(NF-TN01/-DN01)＜生産終了品＞
の取り付け

<耐真空ファイバの構成>

リーク量：1.33×10－10Pa・m3/s［He］以下

<取り付け>

①真空槽壁（チャンバまたはフランジ）に穴を2箇所開けます。

(注1)：穴径は、φ5.5～φ6.0mmとしてください。

②光ジョイント部を真空槽壁に取り付けます。
光ジョイント部を真空槽壁に取り付ける際、必ず付属のOリングを装着し、Oリングを装着した側を大気側になるようにしてください。

③光ジョイント部の大気側に大気側ファイバの金具部を取り付けます。

(注1）：

固定ナットを確実に締め付けてください。
締め方がゆるいとすき間が空き、検出距離が低下します。

④光ジョイント部の真空側に真空側ファイバの固定ナットを取り付けます。

(注1）：

固定ナットを確実に締め付けてください。
締め方がゆるいとすき間が空き、検出距離が低下します。

⑤ 真空側ファイバの先端部を固定します。

NF-DN01

の場合>

取付金具を使用する場合
•セットビス（くぼみ先M3以下）を使用し、締め付けてください。
•取付金具を筐体に取り付けると、セットビスを使用しなくてもヘッド部を自動的に固定することができます。

取付金具を使用しない場合
•右図のようにセットビス（くぼみ先M3以下）を使用し、ヘッド部先端から15mm以内を固定してください。

耐熱ジョイントファイバ(NF-TH12/-TH13/-TH14/-TH15/-TH16)の取り付け

<耐熱ジョイントファイバと常温側ファイバの接続方法>

•常温側ファイバを接続する場合は、下記の手順で行ってください。

手順

①耐熱ジョイントファイバに付属のナット(樹脂製)およびバネ座金を、常温側ファイバのファイバ先端部の奥まで取り付けます。

②耐熱ジョイントファイバと常温側ファイバをロックナットで取り付けます。

(注1）：

ロックナットが、手順①で取り付けたナット（樹脂製）およびバネ座金で固定されないようにしてください。

③ロックナットが緩まないように手順①で取り付けたナット(樹脂製)で固定します。

<中継部を取付板に固定する場合>

•付属のナット（金属製）で中継部（耐熱ジョイントファイバと常温側ファイバの接続部）を取付板に固定する場合は、下記の手順で行ってください。
•取付板の厚みは、1mm以下としてください。

手順

①常温側ファイバの保護チューブを外して、付属のナット（金属製）をファイバ先端部から取り付け、ファイバ部まで移動させます。

②ファイバ先端部を取付板に差し込みます。

③〈耐熱ジョイントファイバと常温側ファイバの接続方法〉と同じ手順で耐熱ジョイントファイバと常温側ファイバを接続します。

④手順①で取り付けたナット（金属製）を取付板に締め付けます。

<使用温度>

•常温側ファイバおよびアンプを保護するため、下図のように耐熱ジョイントファイバを100mm以上常温域に出してご使用ください。

狭光芒・ウェハマッピングファイバ(NF-TG01/-TG02/-TG03/-TG04)の取り付け

•本製品の開口角は非常に狭く、設置の状態によっては入光しない場合がありますので、ご注意ください。

<透過型>

•設置の際には、下図のように基準面を決め、光軸のズレや傾きに十分注意して、投・受光ファイバが平行になるように設置してください。

NF-TG01

NF-TG02/-TG03/-TG04

<ミラー反射型>

•ファイバヘッドおよび反射ミラーは付属のM1.4ビス（長さ1.6mm）を使用し、右図のように必ず取付板（厚さ0.9mm以下）に取り付けてください。
•振動・衝撃のある場所に取り付ける場合、ネジロックなどを使用してビスを締め付けてください。
•設置の際には、下図のようにファイバヘッドと反射ミラーの取付穴を互いに平行にし、またＡ部、Ｂ部、Ｃ部もそれぞれ平行になるように取り付け、光軸のずれや傾きに十分注意してください。

<上から見た図>

<横から見た図>

漏液検出ファイバ(NF-DW02)の取り付け

•SUS取付具を使用する場合、溶接してあるM4スタッドボルトを取付具の取付穴に差し込み、M4ナット（別途ご用意ください）で取り付けます。

•PVC取付具を使用する場合は、“TOP”の刻印側を上面にして接合面に密着させて接着してください。
また、右図の溶接範囲内にて溶接してください。

•筐体に取り付けた専用取付具の凸部とファイバの凹部を合わせ、“カチッ”と音がするまでスライドさせてください。

パイプ取付式液面検出ファイバ(NF-TF01)の取り付け

•下図のように付属の結束バンドと滑り止めチューブを使って取り付けます。また、結束バンドは上下2本とも確実に締めて、余分な部分は切ってください。

•別途、結束バンドが必要な場合は、下図のⒶに寸法が2.5mm以下の結束バンドを使用してください。

パイプ取付式液面検出ファイバ(NF-DF04/-DF05)の
取り付け

•下図のように付属の結束バンドと滑り止めチューブを使って取り付けます。取り付けの際は、必ず取付位置調整レバーを倒した状態（下図の位置）にあることをご確認ください。また、結束バンドは上下2本とも確実に締めて、余分な部分は切ってください。

•別途、結束バンドが必要な場合は、下図のⒶ寸法が2.5mm以下の結束バンドを使用してください。

•取付穴を利用して取り付ける場合は、必ずM3ビス、平座金およびバネ座金を使用してください。
(M3ビス、平座金およびバネ座金は別途ご用意ください。)

<パイプ取付式液面検出ファイバの位置調整>

•本製品を結束バンドで取り付けた場合、取付位置の再調整が容易に行えます。

調整方法

①取付位置調整レバーを手前（矢印の方向）に引きます。

②可動部を矢印の方向に押して結束バンドをゆるめ、取付位置を再調整します。

③取付位置調整レバーを矢印の方向に倒し、元の位置に戻します。

(注1）：

取付位置を再調整した後は、必ず再度感度設定を行ってください。

(注2）：

同機構は取付位置を再調整することに用いるレバーで、結束バンドの締め付けを強化するレバーではありません。取付位置調整レバーの開放中に結束バンドを締め付け、取付位置調整レバーを倒すと、ファイバが破損しますのでご注意ください。

耐薬品角型ヘッドファイバ(NF-TY05)の取り付け

•M3ビスを使用し、締め付けトルクは0.3N・m以下としてください。

耐熱ファイバ使用時の注意点

•アンプを保護するため、下図に示すように耐熱ファイバ部を150mm以上常温域に出してご使用ください。

•アンプには、ふく射熱や熱風が直接あたらないようにご注意ください。
•350℃耐熱ファイバの先端金具部およびステンレススパイラル部は高温で使用する場合、変色することがありますが検出性能には影響ありません。

NF-TZ07/-TZ08/-TZ09/-TZ10付属シールスリットについて

•付属スリットは2種類(NF-TZ07/-TZ08は1種類）あります。スリットは小物体を検出する場合や、近距離で使用した場合の光量飽和の対策として使用します。但し、スリットを装着すると検出距離が短くなります。スリットはシールになっていますので、ファイバにスリットを貼り付ける際は、下図のようにスリットの突起部をファイバの上部に合わせて貼り付けてください。

付属スリット

装着方法

NF-TZ09

-TZ10

NF-TZ07

-TZ08

NF-TY01(-□)/-TY02(-□)/-TY03-TF3/
-TY05(-□)/-DY01について

•下記の薬品内での使用は避けてください。
溶解状態のアルカリ金属（ナトリウム、カリウム、リチウムなど）、フッ素ガス（F2）、ClF3、OF2（ガス状態を含む）などPFAを侵すおそれのある薬品。または、高温のフッ酸、硝酸、塩素などの透過性の高い薬品。

NF-DY01(耐熱タイプ)使用時の注意点

•アンプを保護するため、下図に示すように耐熱ファイバ部を150mm以上常温域に出してご使用ください。

•アンプには、ふく射熱や熱風が直接当たらないようにご注意ください。

NF-DA06使用時の注意点

•ファイバの挿入量により、スポット径および検出距離を調整できます。深く挿入しすぎるとファイバ先端がレンズから外れてしまうのでご注意ください。

•ファイバとNF-DA06を設定後、振動などで動かないようにファイバに付属しているナットなどにより固定してください。

•NF-DA06をセットビスで固定する場合は、M3のセットビス（くぼみ先）を使用してください。

NF-DA01/-DA02/-DA03/-DA04/-DA05使用時の注意点

•NF-DA01/-DA02/-DA03/-DA04/-DA05にファイバを挿入する場合は、ファイバが止まるまで挿入してください。

NF-DA07使用時の注意点

•ファイバの挿入量により、スポット径および検出距離を調整できます。

•ファイバとNF-DA07を設定後、振動などで動かないように、NF-DA07に付属している専用ナットで固定してください。

漏液/液面検出/耐薬品ファイバの注意事項

•NF-DW02のメンテナンス時は柔らかい布でヘッド部と取付具に付着した液体のすべてを拭き取ってください。また検出部の結露には、十分ご注意ください。

•NF-DW02/-TF01のファイバを極端に短くすると、光量差が十分に取れず安定して検出ができない場合がありますのでご注意ください。

•NF-DW02の設置時は必ず、ヒューマンエラー(設置忘れなど)対策のため、専用取付具を使用してください。使用されない場合は、安定検出ができません。
但し、筐体が黒っぽく光沢がない所にPVC取付具を使用すると、ヒューマンエラー(設置忘れなど)が検出できない場合がありますので、ご使用前に必ず確認してください。

•保護チューブ切断時はファイバ外被に傷を付けないように切断してください。

•NF-DW02の感度設定は、必ず液体のない状態でヘッド部を専用取付具に取り付け、ファイバ部をアンプに装着後行ってください。感度調整後、ファイバの接続または設置を変更すると入光量が変化し、安定検出ができません。
メンテナンスなどでファイバの接続または設置を変更する場合も同様に、アンプの感度設定を行ってください。

•長期間高温・高湿状態で使用すると、光量が低下するおそれがありますのでご注意ください。

•NF-DW02のヘッド部の材質(PFA製)と親和性が悪い液体は、検出部に気泡を巻き込み、検出が安定するのに時間が掛かったり、不安定になる場合もありますのでご注意ください。ご使用の前には、必ず検出する液体で確認してください。

•NF-DW02のメンテナンス時は専用取付金具にキズ、汚れ、歪みなどがないかを確認してください。

•検出面に水滴が付着すると検出性能に影響を及ぼします。
水が直接かかる場所での使用は避けてください。
また、パイプ外壁の結露などには十分ご注意ください。

•NF-TF01/-DF04/-DF05は透明度が低い液体、粘性が高い液体については、安定して検出できない場合がありますので、ご注意ください。

•NF-TF01/-DF04/-DF05パイプへの取り付け状態が不完全な場合、検出に大きな影響を及ぼす可能性があります。付属の滑り止めチューブを使用し、検出部が動かないようにパイプに取り付けて使用してください。

•NF-TF01にて安定した検出を行うため、アンプの感度設定は、必ずパイプ内に液体の無い状態で、ファイバを設置してから行ってください。また、ファイバをパイプへ取り付け直した場合、ファイバの引き回しを変更した場合は、必ず感度の再設定を行ってください。

•NF-DF04/-DF05は不透明パイプでは、正しく検出できません。

•NF-DF04/-DF05の検出部は、パイプに確実に密着するよう取り付けてください。密着していないと誤動作しますのでご注意ください。

•NF-DF04/-DF05は、耐水および耐薬品構造になっていませんので、水や薬品が直接かかる所での使用は避けてください。

•NF-DF04/-DF05の検出面への水滴の付着は検出に影響を与えますので、パイプ外壁の結露などには十分ご注意ください。また、パイプ内壁を伝わる水滴や、内壁に付着する気泡も検出に影響を及ぼしますので、ご注意ください。

共通の注意事項