レーザ変位センサCD33-L30N□でガラス基板投入時の1枚/2枚を判別し、2枚送り時に基板が割れてしまうのを防止します。
バタツキのあるラインでも上下で挟み込んで測定することにより、安定した測定が可能。またコントロールユニットのUQ1-02を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズと直接接続することができ、演算設定も簡単に行うことが可能です。